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Attributes	Values
type	Document Thesis
Thesis advisor	Couderc, Jean-Pierre (1941-.... ; microélectronicien)
Author	Nieto, Jean-Pierre
Bibliographic Citation	Analyse et modélisation d'un réacteur de CVD à fonctionnement continu : application au dépôt de SiO² pur et dopé / par Jean-Pierre Nieto ; sous la direction de Jean-Pierre Couderc / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 2001
Subject	http://www.idref.fr/027613887/id http://www.idref.fr/02768394X/id http://www.idref.fr/027551385/id http://www.idref.fr/027253139/id http://www.idref.fr/02753636X/id
Degree granting institution	Institut national polytechnique (Toulouse ; 1969-....)
dc:date	2001(xsd:integer)
rdam:P30135	Analyse et modélisation d'un réacteur de CVD à fonctionnement continu, application au dépôt de SiO² pur et dopé
http://www.abes.fr...doc/holdingsCount	1(xsd:integer)

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