About: Diagnostics et modélisation des décharges radiofréquences dans le silane et l'hélium   Goto Sponge  NotDistinct  Permalink

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AttributesValues
type
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  • Diagnostics and modelisation of silane and helium radiofrequency discharges
dc:subject
  • Thèses et écrits académiques
  • Hélium
  • Spectroscopie des radiofréquences
  • Diagnostics de plasma
  • Silane -- Dérivés
preferred label
  • Diagnostics et modélisation des décharges radiofréquences dans le silane et l'hélium
Language
Subject
dc:title
  • Diagnostics et modélisation des décharges radiofréquences dans le silane et l'hélium
note
  • Ce travail représente une approche pour une meilleure compréhension des mécanismes de dissipation de l'énergie dans des décharges radiofréquence rf couplées capacitivement dans un réacteur à plasma en configuration diode. Une des applications de ces décharges rf est la production de dispositifs en couches minces de a-si:h. La première partie concerne la description du dispositif expérimental ainsi que les diagnostics pour la mesure des différents paramètres caractérisant une décharge rf, tels que la puissance dissipée, le courant rf et ionique, l'émission des électrons secondaires, l'émission optique et la composition de la phase gazeuse. La deuxième partie est centrée sur l'aspect théorique des mécanismes de fonctionnement des décharges rf et les différentes approches de leur modélisation. Finalement, la troisième partie porte sur la caractérisation et modélisation des plasmas d'hélium pur et de silane pur en considérant des conditions de décharge qui entrainent la formation des agrégats, appelés poudres, dans le plasma. Nous présentons aussi nos mesures du coefficient d'émission d'électrons secondaires pour différentes combinaisons de gaz de décharge et matériaux d'électrodes, effectuées à notre connaissance pour la première fois dans des conditions de décharges rf
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  • Text
http://iflastandar...bd/elements/P1001
rdaw:P10219
  • 1992
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