About: Microscopie tomographique diffractive et profilométrie multivue à haute résolution   Goto Sponge  NotDistinct  Permalink

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Thesis advisor
Author
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  • Tomographic diffractive microscopy and multiview profilometry with high resolution
dc:subject
  • Optique de Fourier
  • Traitement du signal
  • Thèses et écrits académiques
  • Imagerie (technique)
  • Holographie
  • Fourier, Optique de
  • Compensation d'aberation
  • Imagerie tomographique
  • Profilométrie
  • Super résolution
preferred label
  • Microscopie tomographique diffractive et profilométrie multivue à haute résolution
Language
Subject
dc:title
  • Microscopie tomographique diffractive et profilométrie multivue à haute résolution
Degree granting institution
note
  • We have developed a tomographic diffractive microscope in reflection, which permits observation of sample surfaces with an improved lateral resolution, compared to a conventional holographic microscope. From the same set of data, high-precision measurements can be performed on the shape of the reflective surface by reconstructing the phase of the diffracted field. doing so allows for several advantages compared to classical holographic interferometric measurements: improvement in lateral resolution, easier phase unwrapping, reduction of the coherent noise, combined with the high-longitudinal precision provided by interferometric phase measurements. We demonstrate these capabilities by imaging various test samples.
  • Nous avons développé un microscope tomographique diffractif en réflexion, qui permet d’observer la surface d’un échantillon avec une résolution latérale améliorée comparée à un microscope holographique conventionnel. À partir des même données expérimentales (les hologrammes acquis sous différents angles d’illumination), des mesures à haute précision longitudinale peuvent être réalisées sur la surface d’un échantillon purement réfléchissant, par reconstruction du profil de hauteur à partir de la phase. Cette méthode d’imagerie multimodale présente plusieurs avantages comparée aux mesures en holographie interférométrique classique : amélioration de la résolution latérale sur la partie diffractive, déroulement de phase facilité, réduction du bruit cohérent, l’ensemble étant associé à la grande précision longitudinale fournie par les mesures de phase. Nous montrons ces possibilités en imageant divers échantillons minces.
dc:type
  • Text
http://iflastandar...bd/elements/P1001
rdaw:P10219
  • 2014
has content type
is primary topic of
is rdam:P30135 of
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