About: Conception, réalisation et caractérisation de grilles en silicium polycristallin déposé amorphe à basse température et dopé bore in situ

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Attributes	Values
type	frbr:Work rdac:C10001
Thesis advisor	Olivié, François Scheid, Emmanuel (1960-.... ; auteur en systèmes électroniques)
Author	Jordana, Emmanuel (19..-....)
alternative label	Design realization and characterization of low temperature amorphous deposited and in situ boron doped polycristalline silicon gates
dc:subject	MOS Bore Thèses et écrits académiques Contraintes (mécanique) MOS (électronique) Rugosité Contrainte mécanique Oxydes Silicium cristallisé Effet tunnel Silane -- Dérivés C(V) Disilane Déplétion de grille Effets quantiques Oxyde ultra mince RésistivitéI(V)
preferred label	Conception, réalisation et caractérisation de grilles en silicium polycristallin déposé amorphe à basse température et dopé bore in situ
Language	http://lexvo.org/id/iso639-3/fra
Subject	http://www.idref.fr/027672816/id http://www.idref.fr/027675521/id http://www.idref.fr/029873703/id http://www.idref.fr/034012214/id http://www.idref.fr/027253139/id http://www.idref.fr/029808855/id http://www.idref.fr/029641535/id
dc:title	Conception, réalisation et caractérisation de grilles en silicium polycristallin déposé amorphe à basse température et dopé bore in situ
Degree granting institution	Université Toulouse 3 Paul Sabatier (1969-....)
dc:type	Text
http://iflastandar...bd/elements/P1001	http://iflastandards.info/ns/isbd/terms/contentform/T1009
rdaw:P10219	2005
has content type	http://rdaregistry.info/termList/RDAContentType/1020
is primary topic of	http://www.idref.fr/226430421
is rdam:P30135 of	http://www.sudoc.fr/095307451/id http://www.sudoc.fr/246860537/id http://www.sudoc.fr/22638473X/id

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