About: DEPOSITION DE NITRURE DE SILICIUM PAR CVD ASSISTEE PAR PLASMA DE DECHARGE CONTINUE, ETUDE DE LA PHASE GAZEUSE, TENTATIVES DE CORRELATIONS AVEC LES QUALITES DE COUCHES DEPOSEES

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About: DEPOSITION DE NITRURE DE SILICIUM PAR CVD ASSISTEE PAR PLASMA DE DECHARGE CONTINUE, ETUDE DE LA PHASE GAZEUSE, TENTATIVES DE CORRELATIONS AVEC LES QUALITES DE COUCHES DEPOSEES Goto Sponge NotDistinct Permalink

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type	frbr:Work rdac:C10001
Thesis advisor	Catherinot, Alain (1947-....)
Author	Duchesne, Dominique (1958-....)
alternative label	DEPOSITION OF A SI-(N,H) BY P.E.C.V.D. IN A DC GLOW DISCHARGE; STUDY OF THE GAS PHASE; CORRELATIONS BETWEEN THE GAS PHASE ANALYSIS AND THE PROPERTIES OF THE FILMS
dc:subject	Physique Plasma Hydrogen Kinetics Thèses et écrits académiques Experimental study Etude experimentale Couche mince Etat condense Proprietes mecaniques et thermiques Preparation Compose mineral Decharge luminescente Glow discharge Chemical vapor deposition Thin film Depot chimique phase vapeur Amorphous state Etat amorphe Cinetique Silicon nitrides Impurete Electrostatic probe Sonde electrostatique Impurity Inorganic compound Hydrogene\|sec Silicium nitrure\|sub
preferred label	DEPOSITION DE NITRURE DE SILICIUM PAR CVD ASSISTEE PAR PLASMA DE DECHARGE CONTINUE, ETUDE DE LA PHASE GAZEUSE, TENTATIVES DE CORRELATIONS AVEC LES QUALITES DE COUCHES DEPOSEES
Language	http://lexvo.org/id/iso639-3/fra
Subject	http://www.idref.fr/027253139/id
dc:title	DEPOSITION DE NITRURE DE SILICIUM PAR CVD ASSISTEE PAR PLASMA DE DECHARGE CONTINUE, ETUDE DE LA PHASE GAZEUSE, TENTATIVES DE CORRELATIONS AVEC LES QUALITES DE COUCHES DEPOSEES
Degree granting institution	Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques
note	ETUDE SPECTROSCOPIQUE DES DIFFERENTS ASPECTS DE LA PHASE AQUEUSE D'UNE DECHARGE LUMINESCENTE BASSE PRESSION DANS UN MELANGE AR/SIH::(4)-N::(2). LES PREMIERS RESULTATS OBTENUS SUR LES DEPOTS DE NITRURE DE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE SONT ENSUITE PRESENTES ET QUELQUES POINTS DE SIMILARITE ENTRE LES CARACTERISTIQUES DE LA PHASE GAZEUSE ET LES PROPRIETES DES DEPOTS SONT DONNES
dc:type	Text
http://iflastandar...bd/elements/P1001	http://iflastandards.info/ns/isbd/terms/contentform/T1009
rdaw:P10219	1988
has content type	http://rdaregistry.info/termList/RDAContentType/1020
is primary topic of	http://www.idref.fr/24596584X
is rdam:P30135 of	http://www.sudoc.fr/043735347/id http://www.sudoc.fr/245754113/id

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