About: Techniques alternatives de cristallogenèse du carbure de silicium

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type	frbr:Work rdac:C10001
Thesis advisor	Monteil, Yves (19..-....)
Author	Chaussende, Didier (1973-....)
dc:subject	Croissance cristalline Thèses et écrits académiques Dépôt chimique en phase vapeur Carbure de silicium
preferred label	Techniques alternatives de cristallogenèse du carbure de silicium
Language	http://lexvo.org/id/iso639-3/fra
Subject	http://www.idref.fr/03154777X/id http://www.idref.fr/02788032X/id http://www.idref.fr/027613887/id http://www.idref.fr/027253139/id
dc:title	Techniques alternatives de cristallogenèse du carbure de silicium
Degree granting institution	Université Claude Bernard (Lyon ; 1971-....)
note	Les propriétés du SiC en font un matériau stratégique pour la microélectronique. Cependant, les difficultés liées à l'obtention de monocristaux, et notamment les hautes températures requises, limitent son développement. Face aux techniques existantes (CVD, Sublimation, HTCVD) nous proposons trois nouvelles approches afin d'abaisser la température d'élaboration : le transport chimique en phase vapeur (CVT), l'épitaxie en phase liquide à basse température (LTLPE) et la croissance par un mécanisme Vapeur-Liquide-Solide (VLS). Après une simulation thermodynamique du procédé CVT, nous présentons les essais de transport par HBr. Pour la LTLPE, l'étude approfondie des conditions thermodynamiques et du mécanisme de germination et croissance spontanée de SiC dans un alliage Al-Si sont présentés. Dans le cas de la technique VLS, l'élaboration de couches monocristallines épaisses est étudiée dans différentes configurations en utilisant le silicium comme catalyseur liquide.
dc:type	Text
http://iflastandar...bd/elements/P1001	http://iflastandards.info/ns/isbd/terms/contentform/T1009
rdaw:P10219	2000
has content type	http://rdaregistry.info/termList/RDAContentType/1020
is primary topic of	http://www.idref.fr/247325643
is rdam:P30135 of	http://www.sudoc.fr/069663688/id http://www.sudoc.fr/246637676/id

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