Delta-dopage de couches de silicium élaborées par épitaxie par jet moléculaire avec implantation d'ions sb de faible énergie : application à la réalisation de transistor à effet de champ à grille tungstène / Elisabeth Dufour-Gergam ; sous la dir. de André Vapaille / [S.l.] : [s.n.] , 1992