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Attributes	Values
type	Document Thesis
Thesis advisor	Bouteville, Anne (1954-....)
Author	Logerais, Pierre-Olivier (1979-....)
Bibliographic Citation	Étude du chauffage d’un substrat de silicium dans un système thermique rapide (RTP : Rapid Thermal Process) / Logerais Pierre-Olivier ; directeur de thèse Anne Bouteville / [s.l.] : [s.n.] , 2007
Subject	http://www.idref.fr/031376398/id http://www.idref.fr/027351572/id http://www.idref.fr/027253139/id http://www.idref.fr/034331549/id
Degree granting institution	École nationale supérieure d'arts et métiers (1780-....)
dc:date	2007(xsd:integer)
rdam:P30135	Étude du chauffage d’un substrat de silicium dans un système thermique rapide (RTP : Rapid Thermal Process)
http://www.abes.fr...doc/holdingsCount	1(xsd:integer)
Doctoral school as...d with the thesis	École doctorale Sciences des métiers de l'ingénieur (Paris)

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