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Attributes	Values
type	Document Thesis
Thesis advisor	Gligorovski, Sasho Wortham, Henri (1962-....)
Praeses	Schaumloffel, Dirk
Author	Hayeck, Nathalie (1988-....)
Bibliographic Citation	Contamination des wafers et de l'atmosphère des salles blanches de la micro-électronique : développement analytique et étude in-situ / Nathalie Hayeck ; sous la direction de Henri Wortham et de Sasho Gligorovski / [Lieu de publication inconnu] : [éditeur inconnu] , 2015
Subject	http://www.idref.fr/027391639/id http://www.idref.fr/032678231/id http://www.idref.fr/027866807/id http://www.idref.fr/034468129/id http://www.idref.fr/027253139/id http://www.idref.fr/031776949/id
Degree granting institution	Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence (Marseille ; Toulon ; 2008-….)
dc:date	2015(xsd:integer)
Thesis referee	Salvador, Arnaud Riffault, Véronique (1977-....)
rdam:P30135	Contamination des wafers et de l'atmosphère des salles blanches de la micro-électronique, développement analytique et étude in-situ
http://www.abes.fr...doc/holdingsCount	1(xsd:integer)
Doctoral school as...d with the thesis	École doctorale Sciences de l'Environnement (Aix-en-Provence ; 1996-....)

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