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Attributes	Values
type	Document Thesis
Thesis advisor	Schanen Duport, Isabelle (19..-.... ; auteure en électronique)
Praeses	Morfouli, Panagiota (19..-.... ; auteure en physique)
Author	Zine el abidine, Nacer (1986-....)
Bibliographic Citation	Evaluation de Réticules Avancés : Propriétés optiques des réticules et prise en compte de leur processus de fabrication dans l'amélioration des modèles OPC pour étendre les fenêtres de procédés en lithographie optique par immersion, pour les noeuds technologiques 28nm et 14nm / Nacer Zine el abidine ; sous la direction de Isabelle Schanen Duport / , 2017
Subject	http://www.idref.fr/027337510/id http://www.idref.fr/027847659/id http://www.idref.fr/027253139/id http://www.idref.fr/027289397/id
Degree granting institution	Communauté d'universités et d'établissements Université Grenoble Alpes (2015-2019)
Opponent	Schiavone, Patrick (1961-....) Sundermann, Frank (19..-....) Le Gratiet, Bertrand (19..-.... ; ingénieur)
dc:date	2017(xsd:integer)
Thesis referee	Deumié-Raviol, Carole (1971-....) Clerc, Raphaël (19..-.... ; auteur en microélectronique)
rdam:P30135	http://www.theses.fr/2017GREAT079/id
http://www.abes.fr...doc/holdingsCount	2(xsd:integer)
Laboratory associated with the thesis	Centre de radiofréquences, optique et micro-nanoélectronique des Alpes (2007-....)
Doctoral school as...d with the thesis	École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble ; 199.-....)

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