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Attributes	Values
type	Document Thesis
Thesis advisor	Rouessac, Vincent (chimiste) Ayral, André
Author	Puyrenier, Wilfried
Bibliographic Citation	Etude d'un matériau diélectrique poreux de type SiOCH : effet des post-traitements plasma et de nettoyage et intégration / Wilfried Puyrenier ; sous la direction de André Ayral, Vincent Rouessac / Lille : Atelier national de reproduction des thèses , 2007
Subject	http://www.idref.fr/027859274/id http://www.idref.fr/027674533/id http://www.idref.fr/027282295/id http://www.idref.fr/027337510/id http://www.idref.fr/027253139/id
Degree granting institution	Université des sciences et techniques de Montpellier 2 (1970-2014)
dc:date	2007(xsd:integer)
rdam:P30135	Etude d'un matériau diélectrique poreux de type SiOCH, effet des post-traitements plasma et de nettoyage et intégration
http://www.abes.fr...doc/holdingsCount	2(xsd:integer)

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