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Attributes	Values
type	Document Thesis
Thesis advisor	Couderc, Jean-Pierre (1941-.... ; microélectronicien)
Author	Tounsi, Mohamed Adnen (19..-.... ; auteur en génie des procédés)
Bibliographic Citation	Dépôts de silicium pur ou dopé in situ au phosphore : génie des réacteurs et propriétés des couches / par Mohamed Adnen Tounsi ; sous la direction de J.P. Couderc / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 1994
Subject	http://www.idref.fr/031451519/id http://www.idref.fr/031376290/id http://www.idref.fr/027613887/id http://www.idref.fr/034012214/id http://www.idref.fr/027253139/id http://www.idref.fr/02753636X/id http://www.idref.fr/030027780/id
Degree granting institution	Institut national polytechnique (Toulouse ; 1969-....)
dc:date	1994(xsd:integer)
rdam:P30135	Dépôts de silicium pur ou dopé in situ au phosphore, génie des réacteurs et propriétés des couches
http://www.abes.fr...doc/holdingsCount	1(xsd:integer)

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