This HTML5 document contains 32 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Subject Item

n2:id

rdf:type

rdac:C10001 frbr:Work

marcrel:ths

n6:id n7:id n12:id

marcrel:aut

n18:id

skos:altLabel

Tomographic diffractive microscopy and multiview profilometry with high resolution

dc:subject

Super résolution Traitement du signal Profilométrie Imagerie tomographique Imagerie (technique) Compensation d'aberation Thèses et écrits académiques Holographie Optique de Fourier Fourier, Optique de

skos:prefLabel

Microscopie tomographique diffractive et profilométrie multivue à haute résolution

dcterms:language

n10:fra

dcterms:subject

n11:id n13:id n17:id n21:id n22:id

dc:title

Microscopie tomographique diffractive et profilométrie multivue à haute résolution

marcrel:dgg

n23:id

skos:note

Nous avons développé un microscope tomographique diffractif en réflexion, qui permet d’observer la surface d’un échantillon avec une résolution latérale améliorée comparée à un microscope holographique conventionnel. À partir des même données expérimentales (les hologrammes acquis sous différents angles d’illumination), des mesures à haute précision longitudinale peuvent être réalisées sur la surface d’un échantillon purement réfléchissant, par reconstruction du profil de hauteur à partir de la phase. Cette méthode d’imagerie multimodale présente plusieurs avantages comparée aux mesures en holographie interférométrique classique : amélioration de la résolution latérale sur la partie diffractive, déroulement de phase facilité, réduction du bruit cohérent, l’ensemble étant associé à la grande précision longitudinale fournie par les mesures de phase. Nous montrons ces possibilités en imageant divers échantillons minces. We have developed a tomographic diffractive microscope in reflection, which permits observation of sample surfaces with an improved lateral resolution, compared to a conventional holographic microscope. From the same set of data, high-precision measurements can be performed on the shape of the reflective surface by reconstructing the phase of the diffracted field. doing so allows for several advantages compared to classical holographic interferometric measurements: improvement in lateral resolution, easier phase unwrapping, reduction of the coherent noise, combined with the high-longitudinal precision provided by interferometric phase measurements. We demonstrate these capabilities by imaging various test samples.

dc:type

Text

n15:P1001

n16:T1009

rdaw:P10219

2014

rdau:P60049

n20:1020