"D\u00E9tecteurs de produits chimiques" . . "Couches minces" . . . "Oxyde semiconducteur de type p" . "La mesure du taux de CO2 est un besoin relativement r\u00E9cent. Les travaux sur l'utilisation de nouveaux mat\u00E9riaux pour la r\u00E9alisation de capteurs de gaz, efficaces et peu chers, suscitent des int\u00E9r\u00EAts scientifique et technologique croissants. L'objectif de ces travaux de th\u00E8se est l'\u00E9laboration et la caract\u00E9risation de nouvelles couches sensibles obtenues par pulv\u00E9risation cathodique radiofr\u00E9quence pour la r\u00E9alisation de capteurs de CO2. Les films minces ont \u00E9t\u00E9 d\u00E9pos\u00E9s \u00E0 partir d'une cible c\u00E9ramique de CuO, dans diverses conditions de d\u00E9p\u00F4t, en variant la pression d'argon dans l'enceinte et la puissance RF appliqu\u00E9e. Dans un premier temps, nous avons caract\u00E9ris\u00E9 la structure et la microstructure des films bruts et recuits sous air par DRX, MEB, AFM et spectroscopie Raman. Nous avons \u00E9galement \u00E9tudi\u00E9 les propri\u00E9t\u00E9s physiques des films minces ainsi que leur surface accessible par adsorption de gaz krypton (m\u00E9thode de Brunauer, Emmett et Teller). Le traitement thermique \u00E0 450\u00B0C n'affecte pas la structure cristalline des couches, en revanche il tend \u00E0 faire chuter fortement la surface accessible entre les colonnes. Apr\u00E8s l'optimisation des param\u00E8tres de fonctionnement de la cellule de mesure, nous avons caract\u00E9ris\u00E9 les performances des films de CuO pour la d\u00E9tection du CO2. La meilleure r\u00E9ponse (?R/R=51 %) a \u00E9t\u00E9 obtenue pour une couche \u00E9labor\u00E9e \u00E0 2 Pa avec une puissance RF de 30W. De plus, la temp\u00E9rature optimale de mesure est relativement basse (T= 250\u00B0C). Le contr\u00F4le de la microstructure et plus particuli\u00E8rement de la taille des grains s'est av\u00E9r\u00E9 \u00EAtre le param\u00E8tre principal qui impacte la r\u00E9ponse sous CO2. Les meilleurs r\u00E9sultats ont \u00E9t\u00E9 obtenus avec des tailles de grains proches d'une vingtaine de nanom\u00E8tres de diam\u00E8tre. Une bonne mod\u00E9lisation de la r\u00E9ponse \u00E9lectrique en fonction de la taille des grains a pu \u00EAtre r\u00E9alis\u00E9e en prenant en compte un circuit \u00E9lectrique \u00E9quivalent comportant une zone enrichie en porteur de type trous \u00E0 la surface des grains et dont l'\u00E9paisseur est de l'ordre de la longueur de Debye." . "2015" . . "Elaboration and characterization of new thin films for CO2 gas sensors" . . "Capteur de gaz" . . "CO2" . . "Th\u00E8ses et \u00E9crits acad\u00E9miques" . "Dioxyde de carbone" . . . "Text" . "Pulv\u00E9risation cathodique rf" . . . "CuO" . . . "Elaboration et caract\u00E9risation de nouvelles couches sensibles pour la r\u00E9alisation de capteurs de CO2" . "Elaboration et caract\u00E9risation de nouvelles couches sensibles pour la r\u00E9alisation de capteurs de CO2" . . . "The measure of the rate of CO2 is a recent need. The works on the use of new materials for the conception of gas sensors based semiconductor oxides, effective and not expensive; arouse a huge interest in our society. The objective of this thesis is the elaboration and the characterization of new sensitive layers obtained by RF sputtering for the realization of the sensors of CO2. Thin films were deposited using two targets: CuFeO2 and CuO, under three conditions by varying argon pressure and RF power. First of all, the structure and the microstructure were studied for the as-deposited samples. Surface investigations carried out by Atomic Force Microscopy (AFM), X-ray Diffraction (XRD), Raman spectroscopy, BET measurements and MEB-FEG images have shown a strong influence of deposition technique parameters on film surface topography and morphology. In a second step, the thin films were annealed in air in order to oxidize the phase. For the composite CuO/CuFe2O4, Glow discharge optical emission spectrometry technique showed a structure in two layers stacked on top of each other for the thinner films. For the cupric films, no changes on both structure and microstructure have been revealed. Our films have then been evaluated for CO2 detection. The sensitive layers with different thicknesses were sensitive to 5000 ppm of CO2. The deposition parameters are optimized to obtain microstructure features which can enhance the sensitivity of the thin films as gas sensors. Best response was obtained for a cupric sample deposited in P2 30W conditions and was close to 50% at T = 250\u00B0C. We have demonstrates that cupric oxide alone can detect the CO2 gas and that the growth conditions determine the film surface characteristics. The gas sensing characteristics of these films are strongly influenced by both surface morphology and microstructure." .