. . "Microcapteurs" . "Design and realization of conductimetric gas multi-sensor platform\u2026 Towards the integrated electronic nose" . . "2007" . "Th\u00E8ses et \u00E9crits acad\u00E9miques" . . . "Tungst\u00E8ne -- Compos\u00E9s" . "Les capteurs de gaz \u00E0 oxydes semi-conducteurs actuels reposent souvent sur des structures peu stables dans le temps et pr\u00E9sentent toujours une faible s\u00E9lectivit\u00E9 aux gaz. Ainsi ce travail d\u00E9taille le d\u00E9veloppement de microcapteurs de gaz dits de \u00AB nouvelle g\u00E9n\u00E9ration \u00BB. Les diff\u00E9rents \u00E9l\u00E9ments qui composent ce type de dispositif ont \u00E9t\u00E9 \u00E9tudi\u00E9s et am\u00E9lior\u00E9s. En particulier, une nouvelle plateforme chauffante \u00E0 r\u00E9sistance en platine a \u00E9t\u00E9 d\u00E9velopp\u00E9e en s\u2019appuyant sur une simulation num\u00E9rique bas\u00E9e sur la m\u00E9thode des \u00E9l\u00E9ments finis. Le bon contr\u00F4le des proc\u00E9d\u00E9s technologiques a permis la mise au point d'une fili\u00E8re technologique multi-capteur associant quatre cellules sur une puce. Une couche sensible de WO3 a pu \u00EAtre int\u00E9gr\u00E9e \u00E0 ce dispositif et les caract\u00E9risations \u00E9lectriques et thermographiques ont permis de valider le fonctionnement et la tr\u00E8s bonne stabilit\u00E9 de ces structures. Des tests pr\u00E9liminaires en ambiance gazeuse contr\u00F4l\u00E9e ont permis de montrer de bonnes performances globales en termes de sensibilit\u00E9 et de s\u00E9lectivit\u00E9. Ce travail constitue une premi\u00E8re \u00E9tape encourageante pour la r\u00E9alisation d\u2019un nez \u00E9lectronique int\u00E9gr\u00E9" . "Text" . "Semiconducting oxide gas sensors often bases on structures unstable over time and presents always low gas selectivity. Thus this work describes the development of new generation gas microsensors. The different elements of the device have been studied and improved. In particular, a new micro-hotplate with platinum resistance could be achieved by using a numerical approach based on the finite element method. Good control of technological processes has enabled the development of a multi-sensors technology involving four cells on one chip. A WO3 sensitive layer was able to be integrated into this system and electrical and thermographic characterizations of devices have been enabled to validate functioning and good stability of structures. Preliminary tests in controlled gaseous atmosphere have provided good overall performances in term of sensibility and selectivity. This work is encouraging first stage for electronic nose realisation." . . . . "Conception et r\u00E9alisation d'une plate-forme multi-capteur de gaz conductim\u00E9trique\u2026Vers le nez \u00E9lectronique int\u00E9gr\u00E9" . . "Conception et r\u00E9alisation d'une plate-forme multi-capteur de gaz conductim\u00E9trique\u2026Vers le nez \u00E9lectronique int\u00E9gr\u00E9" . "Semiconducteurs" . "D\u00E9tecteurs de gaz" . . . . . .