"Techniques alternatives de cristallogen\u00E8se du carbure de silicium" . "2000" . . . "Les propri\u00E9t\u00E9s du SiC en font un mat\u00E9riau strat\u00E9gique pour la micro\u00E9lectronique. Cependant, les difficult\u00E9s li\u00E9es \u00E0 l'obtention de monocristaux, et notamment les hautes temp\u00E9ratures requises, limitent son d\u00E9veloppement. Face aux techniques existantes (CVD, Sublimation, HTCVD) nous proposons trois nouvelles approches afin d'abaisser la temp\u00E9rature d'\u00E9laboration : le transport chimique en phase vapeur (CVT), l'\u00E9pitaxie en phase liquide \u00E0 basse temp\u00E9rature (LTLPE) et la croissance par un m\u00E9canisme Vapeur-Liquide-Solide (VLS). Apr\u00E8s une simulation thermodynamique du proc\u00E9d\u00E9 CVT, nous pr\u00E9sentons les essais de transport par HBr. Pour la LTLPE, l'\u00E9tude approfondie des conditions thermodynamiques et du m\u00E9canisme de germination et croissance spontan\u00E9e de SiC dans un alliage Al-Si sont pr\u00E9sent\u00E9s. Dans le cas de la technique VLS, l'\u00E9laboration de couches monocristallines \u00E9paisses est \u00E9tudi\u00E9e dans diff\u00E9rentes configurations en utilisant le silicium comme catalyseur liquide." . "D\u00E9p\u00F4t chimique en phase vapeur" . . . "Croissance cristalline" . . "Carbure de silicium" . . "Th\u00E8ses et \u00E9crits acad\u00E9miques" . . . . . . "Techniques alternatives de cristallogen\u00E8se du carbure de silicium" . "Text" . .