. . . . . "D\u00E9p\u00F4ts de silicium pur ou dop\u00E9 in situ au phosphore : g\u00E9nie des r\u00E9acteurs et propri\u00E9t\u00E9s des couches / par Mohamed Adnen Tounsi ; sous la direction de J.P. Couderc / Grenoble : Atelier national de reproduction des th\u00E8ses , 1994" . "1994"^^ . . . . . . . . "1"^^ . .