. . . . . . . "Dispositifs pi\u00E9zo\u00E9lectriques" . "Th\u00E8ses et \u00E9crits acad\u00E9miques" . . "Micro-fabrication" . . "Sondes atomiques" . "Gravure par plasma" . . . "Couches minces ferro\u00E9lectriques" . "Liquides biologiques" . . "Text" . "Manipuler des cellules n\u00E9cessite l'utilisation d'outils adapt\u00E9s. Ces outils doivent \u00EAtre capables de faire le lien entre le monde microscopique et macroscopique. Les outils adapt\u00E9s naturellement \u00E0 cette t\u00E2che sont les microsyst\u00E8mes, ce sont des microdispositifs m\u00E9caniques poss\u00E9dant une partie mobile permettant de les mettre en mouvement ou de les d\u00E9former. Ils sont des outils id\u00E9aux pour saisir des objets, sonder leur surface et les analyser. Les microsyst\u00E8mes sont d\u00E9j\u00E0 utilis\u00E9s en Microscopie \u00E0 Force Atomique (AFM) pour des applications sous vide ou dans l'air. Cette th\u00E8se va permettre de mettre en \u00E9vidence la probl\u00E9matique qu'est l'utilisation des sondes microsyst\u00E8mes dans un environnement liquide. Peut-on utiliser les m\u00EAmes principes d'actionnement en milieu liquide que sous vide ou dans l'air? Quels vont \u00EAtre les performances et comment les am\u00E9liorer? Nous allons t\u00E2cher de r\u00E9pondre \u00E0 ces questions en \u00E9tudiant un dispositif simple: la poutre encastr\u00E9e-libre. Nous allons d'abord nous int\u00E9resser au principe d'actionnement le plus utilis\u00E9 en micro syst\u00E8mes : l'actionnement \u00E9lectrostatique. L'utilisation de cet actionnement va nous permettre de contr\u00F4ler pr\u00E9cis\u00E9ment le d\u00E9placement de la partie mobile et ainsi d'envisager la fabrication de dispositifs permettant de saisir des objets microm\u00E9triques dans leur environnent physiologique. Cette \u00E9tude va ensuite \u00EAtre consacr\u00E9e au fonctionnement dynamique de leviers \u00E0 actionnement pi\u00E9zo\u00E9lectrique int\u00E9gr\u00E9 \u00E9voluant en milieu liquide compatibles en AFM. Pour acc\u00E9der \u00E0 une r\u00E9solution lat\u00E9rale de l'ordre du nanom\u00E8tre, un nano tube de carbone va \u00EAtre int\u00E9gr\u00E9 \u00E0 l'apex de la pointe situ\u00E9e \u00E0 l'extr\u00E9mit\u00E9 du levier." . . . . "Photolithographie" . . "Syst\u00E8mes micro\u00E9lectrom\u00E9caniques" . "Advanced microsystems technologies for the operation of devices in liquid medium and the nanometric application" . "Microscopie \u00E0 force atomique" . "Technologies microsyst\u00E8mes avanc\u00E9es pour le fonctionnement de dispositifs en milieu liquide et les applications nanom\u00E9triques" . . "Technologies microsyst\u00E8mes avanc\u00E9es pour le fonctionnement de dispositifs en milieu liquide et les applications nanom\u00E9triques" . . "\u00C9lectrostatique" . . . "2006" . . "Nanotubes de carbone" .