Caractérisation par spectrométrie de masse des ions secondaires des zones actives du CMOS ultime : étude de la rugosité en fond du cratère et ses conséquences sur la vitesse d'érosion et sur la résolution en profondeur = = Characterization by secondary ion mass spectrometry of the active zones of the ultimate CMOS : study of roughness in crater bottom and its effects on the speed of erosion and the depth resolution / par Boubker Fares ; sous la dir. de Jean-Claude Dupuy / [S.l.] : [s.n.] , 2004